반도체 제조용 포토레지스트(Photoresist)의 생태계 (EUV포함)

반도체용 포토레지스트(보통 업계에서는 그냥 PR'피알'이라고 이야기함)의 소재국산화를 외치고

국산화에 열을 올린다는 기사를 많이 접했을것이다.

그런데 다시 생각해보면 '실제 반도체양산회사는 왜 일본산 재료를 처음부터 사용을 했을까?" 라는 질문을 해봐야 하지 않을까?

이전 글에서 Hoya라는 굴지의 Glass회사에 대한 이야기와 Photomask글을 올렸는데..

'기술격차극복'이라는 말뒤에 일본산업이 왜 뛰어났는지 그 꾸준하고 '근성'으로 지속한 기업의 역사를 살펴볼 필요가 있지 않을까 한다. 

현재 Global 반도체 재료의 Main Supplier인 일본회사의 평균적인 창업시작 출발 자체가 다르다. 이 말은 이 시간의 역사를 뛰어넘는 노력과 기술차 극복이 필요하지 않을까...? Hoya사를 예를 들면..1941년 회사 창업, 1974년 반도체용 포토마스크 생산했다고 한다.

 

EUV를 제외한 반도체공정에서 많이쓰이는 PR을 보자. Major반도체의 제조공급사의 주류는 일본기업인데,  JSR(일본), Shinetsu화학(일본),Sumitomo화학(일본),TOK(일본),후지필림(일본), Dupont(미국) 특히 국내에 납품하는 Major업체는 JSR,신에츠,스미토모등이 80%이상을 점유하고 있다. 국내회사는 동진세미켐이다.

 

PR의 종류는 아래와 같이 광원의 파장,회로선폭,주요Application에 따라 아래 4가지정도로 분류할수 있다.

기술적 난의도는 범용리지스트부터 기술장벽이 높은 극자외선(EUV)PR이다.

 

 

2019년 반도체용 소부장(소재,부품)관련 일본무역마찰이 발생했을 당시 가장 먼저 이야기나온것이 PR(감광제)와 불산(HF)라는것을 기억했겠지만, 기사를 보니 현재 일본PR기업들의 실적근거로 보면 그 이후에도 전혀 영향을 받지 않고 반도체호황에 편승에 승승장구하는것 같이 보인다.

 

아래는 일본에 상장되어 있는 반도체전공정의 가장 대표적인 반도체재료관련기업 List다. 

(아래 회사는 모두 한국반도체 제조회사에 이미 공급하여 모두 알려진 회사라고 봐야 할것 같다.)

PR제품 공급업체 : 스미토모,신에츠,JSR,TOK(도쿄오카고교),후지필림

PR의 원료업체공급업체: 오사카유기화학,KH네오켐,ADEKA,동양합성공업

EUV용 PR공급업체 : 신에츠,JSR,TOK

 

EUV공정이 Ramp up함에 따라 EUV PR시장의 선점이 PR관련 공급사의 목표로 매년 실적발표때 언급을 하고 있다.

 

아래는 EUV양산을 세계적으로 하는 두회사의 EUV PR업체의 Market Share를 보자(아래 정보 참고)

EUV관련 생태계는 반도체업계의 초미관심사로 대부분의 정보나 Supply Chain등이 어느정도 Open이 된것 같다. 아래 표를 보면 EUV공정의 두회사의 PR Supplier가 어느회사가 선점을 하고 있는지는 거의 나오고 있다.

EUV공정을 적용하는 고객 또는 적용하려는 고객은 사실 EUV 노광장비를 가지고 있는 Device Maker를 찾으면 된다.

 

 

그러면 PR제조업체의 원료(재료)를 공급하는 회사들을 보자.

다이토케믹스(ダイトーケミックス)와 TOYO GOSEI와라는 회사가 있다.

 

다이토케믹스는 1949 년에 설립 된 전통의 중견 화학 업체로 반도체와 LCD 용 포토 레지스트 재료, 인쇄 재료가 주력으로 납품 업체와의 공동 연구에서 제품 개발을 통해 제품을 위탁 생산하고 공급하는 회사임.  2019년결산자료를 보면 주요고객사의 매출이 나온다. 이 회사의 제품별 매출을 보면 역시 전자재료인 반도체용 감광성재료가 실적을 견인하고있다.

2사분기 주주총회(2020/10~2020/3)의 자료중 전자재료의 매출Portion이 전체의 68.5%로 43.9억엔을 차지한다.

 

전자재료실적중 반도체수요증가로 인한 판매매출의 증가.. 그리고 LCD(Display)의 감소가 있었다. 대체적으로 이전에 언급한 Blank Mask를 포함해서 보면 Display쪽 업계의 상황이 안좋다는것을 알수있다.

 

이회사는 2019년 결산자료(2019/3~2020/3)에 주요고객사를 공개했다

 

다이토케믹스결산자료(2019/4~2020/3)

1. 三木産業(미키산교) 

2. 住友化学(스미토모화학) 

3. 東京応化工業(TOK) 

4. 富士通フィルム(후지츠필림) 

위의 4개사가 전체 매출의 52%를 차지하고 있다. 

위에서 보면 2~4회사는 모두 PR관련 업체인데 1위인 미키산교는 300년 넘은 화학제품을 고객사에 공급연결해주는 300년넘은 공급상사다.. 미키산교를 통해 해외로 수출을 한다고 생각하면 된다.

 

여기서 다이토케믹스의 재미있는 사실이 주요 PR공급업체 2개회사가 이회사의 대주주다. TOK의 경우는 4.86%를 보유 대주주 1위고 후지역시 많은 부분을 가지고 있다.  일본원재료 회사는 주요고객사가 지분을 가지고 있는 경우의 한 사례이며.. 이 상황에서 거래처인 동시에 대주주의 끈끈한 관계임을 알수 있다.

 

TOK는 위에서 언급한 EUV용 PR..특히 TSMC의 Main공급회사고 이 제품의 안정적인 원료를 다이토케믹스에서 공급한다.

그러면..

EUV PR의 선두에 있는 TOK회사가 안정적인 재료공급을 위해 어떤 회사에 투자했는지를 찾아보기로 했다(아주 꼭꼭 숨겨놓은듯..) 아래를 보면 다이토케믹스를 포함 KH네오겜이라는 회사를 볼수 있다.(첫번째 빨강줄)

 

KH네오겜(ＫＨネオケム)이라는 회사는  LCD와 반도체의 PR의 Thinner의 원료인 (PMA-P과 (PM-P)를 제조하는 회사다.

PR제조를 위한 감광제원료제조 TOYO GOSEI(동양합성)회사도 살펴보자...

 

이 회사가 바로 PR의 Critical한 원료인 PGMEA(고순조용제), 감광제(PAG,PAC)그리고 레지스트수지의 일종인 폴리머(베이스폴리머)라고 하는 제품의 원료를 생산하는 업체다..(위의 사진은 PR의 구성품을 설명한 그림이다.)

특히 (분홍색부분)의 감광제(PAG,PAC)가 Main Product로 전세계에 공급하는 회사다.(글로벌 공급사라고 그들이 이야기를 하고 있다)

 

2020년 3월에 발표한 3분기중 감광성재료부분만의 결산자료만 보자

 

매출액: 71억7천7백만엔 (740억원) 영업이익(8억3천700백엔:86억4천만원) - 작년대비 18.6% 상승. 로직용 용제,반도체재료(ArF, EUV)제품판매의 호조등이다.. 그런데 메모리와 디스플레이시장의 감소가 있다고 한다.(아래 자료는 3분기(3Q) 자료임.)

 

 

 

회사의 사업전개는 1954년 창업 감광제자료는 1970년 연구시작한 회사로 PR관련감광성재료의 전체매출액의 59%를 차지한다. 나머지 49%는 향료원료매출로 구성되어 있다.

 

 

반도체선폭에 따른 초고순도감광제료, 초고순도용제의 Need가 확대되고 있는데 EUV PR의 원료를 공급을 하는 회사라 할수 있다.

 

그러면 다시 돌아가 EUV PR제품을 공급하는 주요 3개사의 Highlight 기사를 찾아보자.  

 

1. 住友化学(스미토모화학) - 스미토모 화학은 EUV 등 첨단 프로세스 반도체 레지스트의 생산 능력을 인상. 오사카 공장의 포토 레지스트 공장에 새로운 생산 라인을 증설, 생산 능력을 약 4 배에 올림.. 가동은 2022 년 상반기를 예정.

 

3. 東京応化工業(TOK) -   EUV PR 마켓점유율 46%

 

4. 富士通フィルム(후지츠필림) - 이회사의 다양한 제품군중 고기능성재료중 PR은 일부분인것 같다. 주요 PR공급업체

 

5. 신에츠화학 : 신에츠 화학 공업은 포토 레지스트 증산으로 일본과 대만에서 300 억엔의 설비 투자를 실시한다. 2022 년 2 월까지 공사 완료를 목표로한다.

 

 

1. 東京応化工業(TOK)

 

의 매출구조를 보면 2020년에는 EUV PR의 매출비중이 9%미만이다.

이 회사의 창업은 1940 년. 탄광 용 헤드 라이트의 배터리에 사용되는 수산화 칼륨을 처음으로 국산화 한 무카이 繁正 씨에 의해 1940 년 토쿄 오카 공업 주식회사가 설립되었다. 62 년에는 인쇄 회로 기판, 68 년에는 이것도 일본 최초의 반도체 용 포토 레지스트를 생산하기 시작했다. 해외 고객에 밀착하여 개발할 수 있도록 생산 거점을 해외에 만들기 시작한 것도이 회사가 처음이었다.

　현재 반도체 용 포토 레지스트는 세계에서 1500 억엔의 시장이 있다고한다. 그 약 90 %를 생산하고있는 일본 기업 5 개사이다.

　선구 적 존재의 회사이지만, 현재 후발 업체와의 치열한 점유율 경쟁 중에있다. 이 회사는 반도체 용 포토 레지스트 전체 세계 시장 점유율에서 선두이지만, 최신형 스마트 폰 등에 많이 사용되는 ArF 용 포토 레지스트는 회사의 세계 시장 점유율은 4 위다.

 

아래 TOK사장의 2020년 일본기사의 인터뷰를 참고하자.

── 토쿄 오카 공업은 어떤 회사입니까?

반도체 제조 공정에서 사용되는 "포토 레지스트"라는 감광성 수지가 주력 제품입니다.

반도체 칩은 실리콘 웨이퍼 (반도체 기반) 위에 전자 회로를 만드는 수십도의 공정을 가지고 있습니다.

특히 회로의 설계도 인 원판 (포토 마스크)에 빛을 조사하여 웨이퍼에 회로를 전사하는 노광가 중요한 공정입니다.

빛을 원판 대면 웨이퍼에 그림자가 비쳐 있지만, 빛이 닿는 곳에는 웨이퍼 표면에 그려진 포토 레지스트가 화학 변화를 일으켜 설계도가 웨이퍼에 새겨지고 있습니다.

반도체 제조용 감광제 약 25 % (수량 기준)로 세계 최고 점유율을 가지고 있습니다.

── 최첨단 포토 레지스트는 도쿄 오우카와 JSR 등 일본 기업이 90 %의 점유율을 듣습니다. 왜 일본이 강한 것입니까.

반도체 제조 업체, 제조 장치 메이커 수지와 감광제 원료 메이커 등이 일본에 갖추어져 있고 생태계 (경제적인 생태계)를 만들어 쉬웠다고 생각합니다.

->즉 위에서 말한 원료에 대한 생태계가 잘 갖춰져 있기 때문이다.(한국도 이런 생태계가 필요한것임)

 

── 경쟁 업체에 비해 도쿄 오우카의 강점은.

일본에서 처음으로 포토 레지스트를 제조 판매 한 가게에서 옛부터있는 반도체 제품에서 5 나노 미터와 7 나노 미터 등 첨단 미세 가공에도 대응할 수있는 제품 라인업을 가지고 있습니다.

포토 레지스트는 수지, 감광제, 용제 등의 혼합물이지만, 성분에 따라 빛의 투과성이 바뀝니다.

미세 가공 해짐에 따라 파장이 짧은 빛을 사용합니다. 각각의 파장에 따라 최적의 성분의 포토 레지스트를 개발해야합니다. 거기에는 전통으로 온고지신의 노하우가 살아 있습니다. 또한 반도체 제조 공정에서는 10 만분의 1 밀리미터라는 단위로 선폭을 만들고 있습니다. 거기에 조금이라도 Defect이 있으면 문제가 발생합니다. 그렇게되지 않도록 불순물을 극한까지 제거하는 "초고순도화 '가 필요합니다.

비유해 말하면, 50 미터 수영장에 커피 한 방울의 불순물도 허락하지 않는 생산 관리 기술도 필요합니다.

── 최첨단 EUV 용 포토 레지스트는 최고입니다.

우리의 세계 시장 점유율은 약 46 %로 1 위입니다.

EUV가 노광 장치의 가격 높이와 소비 전력의 크기에 따라 몇 년 전까지 실용화가 어렵다는 견해가 있었지만, 위험을 감수하고 개발을 계속 한 것이 효과를 올렸습니다.

 

── 한국에서 국산화에 기운이 높아졌다고 생각 합니다만.

한국은 일본과 같은 반도체 제조 장치와 재료의 강한 에코 시스템은 아직 없습니다.

단, 5 년은 괜찮지만 10 년 후에는 모른다고 생각합니다.

── 장기 경영 목표는 30 년 매출 상황에서 배 가까운 2000 억 엔을 목표로하고 있습니다.

種市 향후 10 년간 반도체에서 사용하는 실리콘 웨이퍼의 사용량이 현재의 2 배 이상이 될 것으로 추산 있습니다.

세계의 기술 발전에 따라갈 수 있다면 목표는 달성 할 수 있다고 생각합니다. (2020 년 경영자)

 

사업 내용 : 반도체 제조용의 감광성 수지 (포토 레지스트) 등의 제조 · 판매

본점 소재지 : 가와사키시

설립 : 1940 년 10 월

자본금 : 146 억엔

종업원 수 : 1726 명 (2019 년 12 월말 연결)

실적 (19 년 12 월기, 연결)

　매출액 : 1028 억 엔

　영업 이익 : 95 억 4600 만엔

 

TOK는 인천송도에 PR공장을 가지고 이미 한국시장에 안정적인 공급을 하고 있다

 

 

TOK의 매출중 아직 EUV의 비중은 낮으나 아마 향후 5~10년안에 EUV공정이 늘어남에 따라 매출구조가 커질것이며

전체 매출의 10%이내로 보면 된다. 매출액이 한화로 1조600억원이니 EUV PR매출은 1060억정도가 되겠다.

 

2. 住友化学(스미토모화학)과 동우화이켐(한국100%자회사)

 

스미토모화학은 100%지분으로 한국의 자회사가 '동우화이켐'(동우라는 한자가 Sumitomo)이 있다.. 20년 3분기 기준으로 매출액이 1조9천300억원 !!

거의 한국매출이 2조에 육박한다. 물론 이 매출중 반도체용 PR은 일부분에 해당하지만, 동우파인켐 통해 SKhynix,Samsung에 PR을 납품하고 있다

 

스미토모화학그룹의 관계사중 동우화이켐의 실적

 

일본 수출규제 품목인 포토레지스터를 생산하는 동우화인켐이 지난해 4월부터 올해 3월까지 일본 스미토모화학에 배당금 800억원을 지급했다. 지난해 당기순이익의 60%가 넘는 수준이다. 동우화인켐은 일본 스미토모화학이 지분 전량을 보유한 한국 자회사다.

동우화인켐은 최근 5년간 매년 2조원이 넘는 매출을 올렸다. 지난해 연결기준 매출은 2조4265억원, 영업이익은 2006억원으로 전년 동기 매출 2조1627억원, 영업이익 938억원 대비 각 12%, 114% 늘었다. 당기순이익이 평년 대비 감소한 2017년을 제외하고 매년 회사 당기순이익의 60%를 모회사로 가져갔다.

동우화인켐은 1991년 동양화학공업(현 OCI)과 일본의 스미토모화학(住友化學)·이토추상사(伊藤忠商事)가 합작해 세워졌으나 OCI와 이토추상사는 지분을 모두 정리해 현재는 스미토모화학이 지분 100%를 가지고 있다. OCI는 1998년 동우화인켐 지분 50%를 스미토모에 넘겼고 이토추상사도 2002년 보유지분 10%를 정리했다.

반도체업계에서는 동우화인켐의 포토레지스트 시장 점유율이 국내 D램 생산의 10% 가량으로 3위를 차지하는 것으로 분석한다. 1위는 20% 중반 점유율을 보이는 TOK코리아다. 하지만 동우화인켐은 삼성전자가 미래 먹거리 사업으로 육성하는 시스템반도체에 쓰이는 차세대 EUV 공정용 포토레지스트 기술 분야에선 앞서 나가고 있는만큼 규제 영향이 크다. EUV용 포토레지스트는 포토레지스트 중에는 가장 최근 개발된 기술이다.

 

동우화인켐의 매출중 전자재료(PR)은 일부분이지만 한국의 매출은 최근5년동안 2조를 넘는다.

 

 조선일보의 기사에 나온 '동우파인켐'을 은근히 디스하는 기사...발췌.(돈을 많이 벌면서 사회기여도가 없고, 배당과 이익을 가져간다는 내용이겠지)

 

"동우화인켐은 지난해 2조6723억원의 매출을 올렸다. 2015년과 비교하면 23.4% 증가했다. 하지만 같은 기간 투자는 22.7% 줄었고, 직원 수도 감소했다. 한국에서 연간 조(兆) 단위 매출을 올리지만 정작 고용·투자에는 인색한 것이다."

 

 

 

3. 한국의 대표 PR공급업체인 동진세미켐의 EUV PR 개발상황.

한국에서 포토레지스트 제조 전문회사로 이름이 알려져 있는 동진세미켐의 기사중 EUV관련 내용이 있다.(

2021년 2월 기사로 PAG합성개발 인력충원을 한다는 내용이다.

이 PAG는 위에 이미 언급한 일본PR재료회사인 토요고세이의 주력제품이다... 이제 원재료부터 연구준비를 시작한다는것인데...언제 따라 잡어..?

 

동진쎄미켐, EUV PR 개발 박차…인력 보강 및 테스트 속도

입력2021.02.25. 오전 11:11

 

동진쎄미켐이 차세대 소재인 '극자외선 포토레지스트(EUV PR)' 개발에 박차를 가한다. 이 회사는 관련 연구를 진행할 인력을 보강하는 한편 EUV PR을 개발하기 위한 다양한 테스트를 진행하고 있는 것으로 알려졌다.

25일 업계에 따르면 동진쎄미켐은 올해 1분기 경력직원 채용 공고를 통해 'EUV PR용 PAG 합성 개발'을 담당할 석사 이상 인력 채용 공고를 냈다. 해당 인력은 향후 회사의 판교 연구개발(R&D) 센터에서 일할 것으로 보인다.

EUV PR은 반도체 초미세 공정에서 반드시 필요한 액체 소재다. 13.5나노(㎚) 파장의 EUV 광원을 활용한 노광 공정을 진행할 때 쓰인다. 동그란 웨이퍼 위에 골고루 도포된 뒤, 쪼여진 EUV 빛에 반응하면서 회로 모양을 남기는 역할을 한다.

PAG는 '광산 발생제'라는 화학물로 화학증폭(CAR) PR의 핵심 구성 물질이다. 해당 인력을 늘리면서 EUV PR 개발 연구 능력을 강화할 것으로 보인다.
동진쎄미켐은 현재 포토레지스트 사업에서 3D 낸드플래시 제조에 활용되는 불화크립톤(KrF) PR을 주력으로 생산한다.
회사는 차세대 먹거리 사업으로 EUV PR을 점찍고 연구개발에 박차를 가하고 있다. 2019년 국내 반도체 업계를 강타한 일본의 EUV 포토레지스트 수출 규제 사태 이후, 국내 공장에 들인 불화아르곤(ArF) 이머전 노광기 등 사내 인프라와 벨기에 반도체 연구 허브 IMEC의 EUV 노광기 등을 활용해 EUV PR 국산화에 도전하고 있다. 

 

-> EUV PR를 개발하려면 EUV노광기가 필요하고, 결국 JSR처럼 IMEC과 같이 개발하거나 고객사(삼성,하이닉스)에서 도와줘여 하지 않을까> 

 

EUV PR 시장은 JSR, 신에츠화학, TOK 등 일본 업체들이 90% 이상을 장악하고 있다.

동진쎄미켐은 차세대 사업 영위를 위해 지난해 김영선 전 ASML코리아 사장을 부회장으로 영입하기도 했다. 그는 EUV 노광 장비를 독점 생산하는 ASML서 경험을 바탕으로, 동진쎄미켐에서 EUV PR 등 각종 차세대 사업 진출과 영업에 관여하고 있는 것으로 알려진다.
특히 업계에서는 동진쎄미켐이 국내 대형 반도체 제조사와 긴밀하게 협업하고 있는 것으로 알려진다.
업계 관계자는 “회사가 자체 개발한 EUV PR 샘플 제품으로 회로 패턴 형성이 가능한 상황”이라며 “품질 유지 및 개선 등 다양한 개발 과정이 남은 것으로 안다”고 전했다.
국내에서는 동진쎄미켐 외에도 SK머티리얼즈 계열의 SK머티리얼즈퍼포먼스가 EUV PR 국산화를 진행하고 있다.

 

역시 SK그룹도 반도체용 전자재료쪽 개발을 열심히 추진하는듯..

위에서 언급한 SK머티리얼즈퍼포먼스(SK Materials Performance)은 천안에 있고, 아래기사를 보면 금호석유화학의 기술을 이전받았다

 

 

 

4. SK머티리얼즈퍼포먼스(PR하겠다고 뛰어든 SK그룹회사)

 

기사등록 2020-02-07 16:03:15

SK머티리얼즈가 포토레지스트(Photoresist, PR) 소재 시장에 본격 진출하며, 고부가 반도체 소재에 출사표를 던졌다.

SK머티리얼즈(대표이사 이용욱)는 7일 이사회를 열고 금호석유화학 전자소재사업을 인수하는 영업양수도 계약을 체결했다. 인수 금액은 400억원이다. SK머티리얼즈는 이번 달 안에 포토레지스트 소재 사업을 담당하는 자회사인 SK퍼포먼스머티리얼즈를 설립할 계획이다. 

반도체 소재 분야에서 30년 이상의 업력을 쌓아온 금호석유화학은 2005년 불화아르곤(ArF) 포토레지스트를 국내 최초로 양산했으며, 3D 낸드 공정용 불화크립톤(KrF) 포토레지스트, 반사방지막(Bottom Anti-Reflection Coating, BARC) 등 다양한 포토레지스트 소재와 부재료의 개발 공급 이력을 갖고 있다.

이와 함께 극자외선(EUV)용 포토레지스트 관련 자체 특허를 보유하고 있어 반도체 소재 시장에서 높은 경쟁력을 가진 것으로 평가 받고 있다.

SK머티리얼즈는 이번 포토레지스트 소재 시장 진출을 통해 특수가스 중심의 비즈니스 포트폴리오를 다각화하고, 고부가가치 반도체 소재 개발 역량을 강화하여 글로벌 반도체 종합 소재 기업으로 도약하기 위한 기반을 마련하게 됐다.

향후 SK머티리얼즈는 시장 점유율 90% 이상을 해외 기업이 차지하는 등 외산 의존도가 매우 높은 포토레지스트 소재 시장에서 국내 개발을 통한 안정적인 공급과 기술 협력 요구가 증대되고 있는 만큼 신규 R&D 인프라를 추가 확보하여 기술 경쟁력을 강화하고, 반도체 소재 트렌드 변화에 선제적으로 대응할 방침이다.

아울러 현재 국산화에 착수한 고순도 불화수소 가스와 함께 포토레지스트 소재 국산화에도 박차를 가해 중장기적으로 우리나라 반도체 소재·부품·장비 산업 경쟁력 향상에 기여할 것으로 기대된다.

이용욱 SK머티리얼즈 사장은 “성장 잠재력이 큰 포토레지스트 소재 사업을 지속적으로 밸류업(Value up)해 고객들의 소재 국산화 요구를 충족할 수 있는 고부가가치 제품을 적기에 양산 공급할 수 있도록 최선을 다할 것”이라며 “앞으로도 신규 소재 연구 개발에 대한 적극적인 투자와 국내외 기업과의 활발한 협력을 통해 진정한 소재 플랫폼 기업으로 성장해 나가겠다”고 말했다.

 

 

자회사 SK머티리얼즈퍼포먼스는 지난 2월 금호석유화학의 포토레지스트 사업부를 인수해 설립한 회사다. 소재 국산화 흐름과 맞물려 또 하나의 성장 엔진이 될 전망이다. 포토레지스트 매출은 2분기부터 소폭 반영되고 있으나 본격적인 실적 기여는 2021년부터 이뤄진다. 연간 5만 갤런의 포토레지스트를 생산할 수 있는 공장이 그해 다 지어지기 때문이다. 이수빈 대신증권 연구원은 “반도체용 포토레지스트 평균 수입 가격이 갤런당 1300달러”라며 “이 공장이 지어지면 약 800억~1000억원의 매출이 더해질 것”이라고 분석했다.

 

(서울=연합뉴스) 코스닥 상장사 SK머티리얼즈[036490]는 반도체 Photo 소재 제조 및 판매업 자회사 SK퍼포먼스머티리얼즈의 주식 10만주를 500억원에 취득한다고 7일 공시했다. 주식 취득 뒤 SK머티리얼즈의 SK퍼포먼스머티리얼즈 지분율은 100%가 된다. 주식 취득 예정일은 18일이다. SK머티리얼즈는 이번 주식 취득의 목적을 "Photo 소재 사업 추진을 통한 고부가 미래 성장동력 확보"라고 밝혔다.

 

 

SK머티리얼즈 보고서에 있는 퍼포먼스.. 총자산 544억에 43억적자..2020년12월까지 매출은 없다.

 

 

5. JSR(PR업계의  No 1회사

 

이 회사는 말할것 없이 PR업계 1위 회사인데... 그냥 회사 역사만 보자..1977년 PR를 개발했단다..(쩝)

 
 

합성 고무를 생산 판매하던 JSR은 달러쇼크와 석유위기 등으로 일본 경제가 흔들리며 기업불황이 시작됐다. 신사업을 모색하기 시작하면서 반도체 제조용 재료에 관심을 갖기 시작했다. 자사가 보유한 고분자 기술을 활용해 생산한 반도체 재료와 디스플레이 재료 등은 JSR에 수익을 안기며 위기를 극복하게 해줬다. JSR은 1978년 사업기획실을 설립하고 신사업을 모색하기 시작한다. 그중 하나가 반도체 제조용 재료다.
 
자사가 보유한 고분자 기술을 활용해 반도체 재료 · 디스플레이 재료 · 광학 재료 등으로 사업 내용을 확대한 JSR은 포토 레지스트와 디스플레이, 광각 재료 등을 통해 수익을 창출해 위기를 극복했다.

특히 1977년 컴퓨터 주요 부품인 반도체 제조용 재료 포토 레지스트 CBR를 개발하는데 성공했다. 실제 실용화까지는 이어지지 못했지만 JRS이 전자재료업체로 인정받는 첫 계기가 된 제품이었다.
 
이후 반도체 제조용 재료 연구개발에 매진하게 된 JSR은 보유한 고분자 기술을 활용해 컬러액정 TV 개발의 난제를 해결하는 실마리를 제공했다. 고온이 아니더라도 배향막의 폴리이미드를 녹일 수 있는 용제를 개발해 컬러 LED 실현의 병목현상을 해결한 것이다.
 
여기에는 JSR이 과거 개발한 연구성과가 돌파구가 됐다. JSR은 1988년 '옵토마'라는 상품명으로 출시를 시작, 이를 계기로 신규사업을 창출하는데 성공했다.
 
하지만 선진국이 만들어 놓은 시장에 뒤늦게 진입해 개량을 통해 시장을 점유하는 패턴은 JSR에게 아쉬운 부분 중 하나였다. JSR은 반도체 소재 선두그룹이 되겠다는 포부를 가지고 'Innovation One -on –One'이라는 슬로건을 내걸고 치열했던 반도체 공정의 핵심인 레지스트 개발에 사활을 걸기 시작했다.
 
미국의 첨단 반도체 업체와 차별된 공동 개발 체계구축에 노력한 JSR은 차세대 ArF용 레지스트 개발에 성공, 세계 최초로 시장진입에 성공했다. 이 일을 계기로 반도체 재료 선도기업으로 자리잡은 JSR은 꾸준한 기술개발을 통해 지금까지 그 명성을 이어가고 있다.

6. 후지필림(2020년9월 450억 투자 EUV PR연구소 만듬)

 

 

 

7. 듀폰코리아(한국공장투자)

 

미국 화학소재 기업 듀폰이 2800만달러(약324억원)를 투자해 한국에 극자외선(EUV) 노광공정용 포토레지스트(PR) 생산 공장을 짓는다. PR는 지난해 7월 일본이 우리나라를 상대로 발표한 수출규제 3대 품목 중 하나다.

산업통상자원부는 미국 현지시간 8일 듀폰이 'EUV용 PR 개발·생산시설 구축'을 위한 투자신고서를 코트라에 제출했다고 밝혔다. 기존 생산 공장이 있는 충남 천안에 2020년부터 2021년까지 투자를 한다.

투자처는 EUV용 PR와 화학기계연마(CMP) 패드 생산이다. PR는 웨이퍼에 패턴을 형성하는 포토 리소그래피 공정에서 사용되는 재료다. EUV용 포토레지스트는 일본 의존도가 높다. JSR, 신에츠, 도쿄오카공업(TOK) 등 일본 기업이 세계시장에서 90% 이상을 점유하고 있다.

CMP패드는 반도체 웨이퍼 표면을 화학적, 기계적 방법으로 연마해 평탄하게 만드는 과정에 사용되는 재료다. 듀폰은 CMP 분야 세계시장에서 80% 이상 점유율을 가진 선두업체다. 이번 투자로 수입대체 효과와 CMP 원재료 생태계가 강화될 것이라고 정부는 기대했다. 정부는 듀폰 투자 부지를 외국인투자지역으로 지정하고 임대료 감면 등 혜택을 제공한다.

존 켐프 듀폰 사장은 투자신고서를 제출하는 자리에서 "EUV용 포토레지스트 개발·생산을 위해 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 것"이라고 밝혔다. 

산업부 관계자는 "소재·부품·장비, 신산업 분야 유망기업에 대해서는 선제적으로 투자 인센티브를 제안해 협상할 것"이라며 "투자가 결정되면 정부‧해당 지자체‧유관기관 등이 합동 TFT를 구성해 투자 애로해소 등 적극적으로 지원할 방침"이라고 밝혔다.

 

결론

위의 정보는 여러 정보를 짜집기 해서 찾은 정보지만, 중요한 사실은 한국의 PR개발이 일본재료를 언제 따라 잡을지를 업계에서 계속 지켜 봐야 할듯하다..

 

마지막으로 국가에서 정책적으로 바라보는 우리나라의 시작을 정리하면 아래와 같다.

(공무원들의 결론!!!) - 아래 구체적인 대응방안이 전부 다 육성하고 협동개발을 해야 된다고 하네...