SEM과 FE-SEM의 차이

전자현미경(Normal-SEM, FE-SEM)

일반 전자현미경은 두 종류로 구분된다.

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Tungsten Filament를 사용하는 Normal-SEM(열전자 방출형 SEM) 과 Field Emission (전계 방사형) FE-SEM 으로 구분된다.

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SEM 종류의 가장 큰 차이는 Beam source 이다.

가장 많이 사용하는 Filament로 텅스텐 선을 V자로 구부린 3극 Hair pin type을 사용한다.

W filament의 Cathode에 - Bias를 가해 2700K정도 가열되면 열 전자를 발생시킨다.

생산단가가 낮고 많은 열 전자를 발생시킨다. Beam안정에 유리하다.

Field Emission Gun은 금속 표면에 강력한 전기장이 형성되었을 때 방사되어 나오는 전자 빔을 이용한다.

금속 표면에 강력한 전기장이 걸리면 전자가 진공 쪽으로 터널링 되어 나가는 양이 생긴다.

아주 강한 전기장을 형성시키기 위하여 날카로운 Tip에 고전압을 걸어 전자를 방출시킨다.

Field Emission Gun은 열전자 전자총에 비해 휘도가 100~1000배 높으며

Crossover diameter도 50~100A정도로 작아서 SEM resolution을 크게 향상시킨다.

수명이 길지만 초고진공(10-8pa)을 필요로 한다.