반도체 패권전쟁에서 최근 Hot한 뉴스는 역시 삼성전자의 3nm GAA의 발표와 TSMC와의 수율전쟁의 뉴스입니다. 여기에 Intel도 미래의 칩기술을 선점하기 위해 ASML사의 HighNA장비의 첫 구매자와 동시에 Intel4 Chip의 Roadmap을 발표을 했고, 관련된 많은 정보들은 기술에 생소한 일반인들에게도 이제는 이해가 될만큼 이 3개의 거대한 Chip maker회사들의 수율경쟁은 반도체기술업계에서는 주요 관심사로 뉴스에 많이 나오고 있습니다. ASML사의 EUV공정은 ArF공정과는 다른 13.5nm EUV파장광원을 다루기 위한 EUV Mask 즉 광원의 반사도를 기반으로 하는 기술이라 여러가지 기술적인 장벽이 있는데, 특히 Tech Node가 줄어들면서 수율과 관련된 Defect과의 싸움은..
