전자현미경(Normal-SEM, FE-SEM) 일반 전자현미경은 두 종류로 구분된다. Tungsten Filament를 사용하는 Normal-SEM(열전자 방출형 SEM) 과 Field Emission (전계 방사형) FE-SEM 으로 구분된다. SEM 종류의 가장 큰 차이는 Beam source 이다. 가장 많이 사용하는 Filament로 텅스텐 선을 V자로 구부린 3극 Hair pin type을 사용한다. W filament의 Cathode에 - Bias를 가해 2700K정도 가열되면 열 전자를 발생시킨다. 생산단가가 낮고 많은 열 전자를 발생시킨다. Beam안정에 유리하다. Field Emission Gun은 금속 표면에 강력한 전기장이 형성되었을 때 방사되어 나오는 전자 빔을 이용한다. 금..
