그 많은 polytypes 중에 3-C SiC / 4H-SiC / 6H-SiC 가 가장 흔하게 많이 쓰임 그중에서도 실제 파워소자에 쓰이는 실리콘카바이드의 웨이퍼의 종류는 4H-SIC이다. Periodicity가 가장 큰 차이점인데 3C : ABC-ABC 4H : ABCB-ABCB- 6H : ABCACB-ABCACB 이러한 polytye stacks 들을 갖는다. 하지만 가장 많이 쓰이는 것은 4H-SiC 구조인것 그 이유로는 1. 가장 높은 Bandgap(3.26eV)를 갖는다 -----> 고온에서 동작유리 밴드갭이란 하나의 전자 (electron)가 속박 상태 (bound state)에서 자유롭게 벗어나기 위해 필요한 최소의 에너지의 양이다. 2. Electron moibility(전자이동도)..
