BC (Buried Contact)의 역할 : BC는 COB (Capacitor On Bit-line) 구조에서 cell transistor와 storage node를 연결하는 통로를 말한다. DRAM 공정에서 buried contact는 중요한 역할을 합니다. 주로 n+ 영역과 폴리실리콘 영역을 연결하는 데 사용됩니다. 이를 통해 전기적 연결을 효율적으로 만들고, 소자의 크기를 줄이면서도 성능을 유지할 수 있습니다. 또한, buried contact는 RC time delay를 줄이는 데도 기여합니다. 이는 신호 전달 속도를 높여 DRAM의 성능을 향상시키는 데 중요한 요소입니다.BC 상세 공정(Photo)은 PR Flow 공정 필요하다(e-BC Scheme의 경우) - AFI CD @ 105 ..
